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·1788·                            精细化工   FINE CHEMICALS                                  第 35 卷

            时,缓蚀效果最佳。继续增加 PPD 浓度到 6 和                          大引起空间位阻效应和分子间作用力所致。所以,
            8 mmol/L 时,缓蚀效率反而下降,这是 PPD 浓度过                     最佳 PPD 浓度为 4 mmol/L。

                                  表 2   钢电极在不同浓度 PPD 溶液中组装 12 h 的交流阻抗谱参数
            Table 2    Fitted parameters of  EIS  spectra obtained for the bare steel and the modified  steel electrodes after 12 h of PPD
                    solutions with different concentrations
                                                                                  2
                                  2
                                                          2
                                              2
               c/(mmol/L)   R ct/(kΩ·cm )   R sam/(kΩ·cm )   CPE dl/(F/cm )  n 1   CPE dl/(F/cm )  n 2   η/%
                 裸钢          179.3        —        2.672×10 –4  0.7543        —           —           —
                  1          598.4       1.882     4.346×10 –6  0.6084     2.947×10 –6  0.6038       70.04
                  2         1302.0       4.172     6.426×10 –5  0.8898     1.121×10 –5  0.7196       86.23
                  4         2227.0       7.750     7.691×10 –5  0.8914     6.945×10 –5  0.7189       91.95
                  6         1312.0       6,242     7.519×10 –5  0.8886     5.934×10 –5  0.6936       86.33
                  8         1296.0       6.194     9.904×10 –5  0.9113     6.308×10 –5  0.6871       86.17
                 注:—代表裸钢没有相应数据。

                                                                   从图 7 可以看出,直线的斜率和线性相关系数
                                                               都近似为 1 ,说明 PPD 在钢表面的吸附符合
                                                               Langmuir 吸附等温方程。图 7 中直线的截距 1/K ads =
                                                                                                0
                                                                       –5
                                                               5.562×10  mol/L。吸附自由能(ΔG ads )由下式          [24]
                                                               计算:
                                                                              0
                                                                             ads  G  –R ln(17.13T  K ads )
                                                               式中:R 为气体常数,8.315 J/(mol·K);T 为热力学
                                                                                      0                    0
                                                               温度,K。计算得到ΔG ads =–31.32 kJ/mol,ΔG ads
                                                               <0 表明 PPD 在钢表面的吸附为自发行为。同时,

             图 6   钢电极在不同浓度 PPD 溶液中组装 12 h 的 Nyquist 图         –40 kJ/mol<  –31.32  kJ/mol<–20 kJ/mol,说明 PPD
            Fig. 6    Nyquist plots obtained for the bare steel and the   分子在钢表面的吸附是以化学吸附为主的混合型吸
                   modified steel electrodes after 12 h of assembly in   [25]
                   PPD solutions with different concentrations   附  。
                                                               2.5   机理研究
            2.4   吸附热力学分析                                          采用 Material Studio 中的密度泛函理论(DFT)
                 采用吸附热力学分析,考察了二唑缓蚀剂的缓                          对 PPD 分子进行量化计算,考察了缓蚀效率和分子
            蚀机理。依据 Langmuir 吸附等温方程            [23] :           结构之间的关系。前线轨道理论               [26] 认为:化学反应
                               c    1    c                   主要发生在反应物的前线轨道之间,分子的最高占
                                 K ads                        有轨道能量(E HOMO )是分子给出电子能力的量度,
            式中:K ads 为吸附平衡常数,L/mmol;c 为组装液中
                                                               分子的最低空轨道能量(E LUMO )和分子的得电子能
            PPD 的浓度,mmol/L;θ为二唑自组装膜在金属表
                                                               力有关,E LUMO 与 E HOMO 的差值ΔE 是考察分子稳定
            面的覆盖率(数值和η/100 相等)。c/θ 对 c 作图,
                                                               性的重要指标,其值越小分子越不稳定,越容易参
            进行等温方程拟合可得到图 7。                                    与化学反应。

                                                                   图 8 为缓蚀剂分子 PPD 优化后的几何构型及其
                                                               HOMO 和 LUMO 等值面图形。图 8 中,蓝色圆点
                                                               代表 N 原子,红色圆点代表 O 原子,灰色圆点代表
                                                               C 原子,白色圆点代表 H 原子。从图 8 可以看出,
                                                               分子的 HOMO 主要分布在二唑环和苯环的碳原子
                                                               上,而 LUMO 几乎离域在整个分子的各个原子上。
                                                               这样的分布表明,缓蚀剂分子既可以通过 LUMO 接
                                                               受电子成键,也可以通过 HOMO 与金属空轨道作
                                                               用,从而稳定吸附在金属表面。缓蚀剂分子的最高

                                                               占有轨道能量 E HOMO =–5.729 eV,最低空轨道能量
                     图 7  PPD 在钢表面的吸附等温线                       E LUMO =–2.573 eV,ΔE=3.156 eV。
            Fig. 7    Langmuir isotherm adsorption mode of PPD on the   为了进一步分析分子的反应活性位点,对 PPD
                   steel surface
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